피크 위치와 강도의 역할
특성 X선 에너지는 원자의 전자 상태와 관련되므로 스펙트럼에서 피크가 있는 위치는 원소를 식별하는 단서이다. 피크의 강도는 해당 원소의 양을 분석하는 데 사용한다. 다만 강도 자체가 그대로 농도라는 뜻은 아니며 정량 분석에서는 검출 조건과 보정이 필요하다.
가까운 피크가 겹칠 때
검출기의 에너지 분해능은 서로 가까운 X선 피크를 구분하는 데 한계를 준다. 두 원소의 선이 겹치면 눈에 보이는 봉우리 하나를 원소 하나에 곧바로 대응시키기 어렵다. 피크가 하나라는 사실과 원소가 하나뿐이라는 결론을 구분해야 한다.
빔의 굵기와 분석 영역
전자빔을 좁게 모았다고 해서 X선이 정확히 그 굵기 안에서만 발생하는 것은 아니다. 입사 전자는 시료 안에서 산란하고 그 과정에서 X선 신호를 만든다. 따라서 전자빔의 지름과 실제 원소 분석 영역은 같은 수치라고 가정할 수 없다.
정량 결과를 읽는 방법
표준 시료를 사용한 분석과 표준 없이 수행하는 분석은 정확도를 평가하는 방법이 다르다. 표준 없는 분석도 미리 확보한 데이터와 보정 모형을 이용한다. 계산기가 농도를 출력했다는 이유만으로 모든 원소를 같은 정확도로 결정했다고 판단해서는 안 된다.
관련 문서
특성 X선 / 전자 / 원소 / 에너지 / 분광학 / 반도체 / 주사 전자 현미경 / 파장 분산형 X선 분광법