남은 에너지에서 손실 알아내기
입사 전자가 시료와 상호작용하면 일부 전자는 에너지를 전달하고 나온다. 입사 에너지와 통과 후 에너지의 차이가 손실 에너지이다. 예를 들어 알려진 입사 에너지보다 검출 에너지가 20 eV 작다면 그 전자의 손실은 20 eV이며, 검출 에너지가 20 eV라는 뜻은 아니다.
어떤 과정에 에너지를 주는가
전자는 시료의 격자 진동, 전자 전이, 전자들의 집단 진동, 안쪽 껍질 전자의 들뜸 등에 에너지를 전달할 수 있다. 손실 에너지 영역과 스펙트럼 모양을 분석해 관련 과정을 조사한다. 서로 다른 들뜸을 한 종류의 원소 신호로만 취급할 수는 없다.
영손실 피크
에너지 손실이 거의 없는 전자들은 스펙트럼의 0 eV 부근에 영손실 피크를 만든다. 관심 있는 약한 손실 신호를 분석할 때 이 강한 성분을 어떻게 다루는지가 중요하다. 영손실이라는 이름은 입사 전자의 에너지 자체가 0이라는 뜻이 아니다.
여러 번 산란하는 경우
시료가 두꺼워지면 전자가 여러 번 비탄성 산란하는 효과가 더 중요해진다. 이때 측정 스펙트럼을 단일 들뜸의 분포와 그대로 동일시하면 안 된다. EELS의 원소 및 전자 상태 분석에서는 측정 조건과 다중 산란의 영향을 함께 검토한다.