빈자리를 채울 때의 두 경로
안쪽 껍질에서 전자가 빠져나가면 높은 에너지 상태의 다른 전자가 그 빈자리를 채울 수 있다. 이때 남는 에너지가 X선 광자로 방출되는 경로와 다른 전자에게 전달되는 경로가 있다. 후자의 에너지로 원자 밖으로 나온 전자가 오제 전자이다.
방출 전자의 에너지
오제 전자의 운동에너지는 빈자리를 메우는 전이의 에너지와 방출 전자를 떼어 내는 데 필요한 에너지에 의해 정해진다. 따라서 원소와 전자 상태에 관한 정보를 담는다. 처음 빈자리를 만든 입사 전자가 단순히 되튕겨 나온 것과는 생성 과정이 다르다.
표면에 민감한 까닭
고체 속에서 이동하는 전자는 주변 물질과 상호작용하면서 에너지를 잃을 수 있다. 본래의 특유 에너지를 유지한 채 검출되는 오제 전자는 주로 표면 가까운 영역의 정보를 제공한다. 신호가 약하다고 표면 아래 깊은 곳까지 같은 정확도로 분석했다고 해석해서는 안 된다.
에너지와 위치를 함께 보기
오제 전자 분광법은 에너지에 따른 신호를 분석해 어떤 원소가 있는지 조사한다. 전자빔을 주사하며 위치별 신호를 측정하면 표면에서 원소가 어떻게 분포하는지도 볼 수 있다. 표면 오염층 역시 신호에 영향을 주므로 벌크 전체 조성과 표면 분석 결과를 구분하는 것이 중요하다.