들어오는 X선과 나오는 X선
XRF에서는 시료를 자극하는 X선과 시료가 방출하는 X선을 구분한다. 분석에 이용하는 것은 시료 원소의 전자 상태가 반영된 특성 X선이다. X선이 시료를 통과한 정도를 보는 투과 영상과는 다른 정보를 얻는 방법이다.
에너지 분산과 파장 분산
에너지 분산형인 EDXRF는 반도체 검출기를 이용해 X선 에너지 분포를 측정한다. 파장 분산형인 WDXRF는 분석 결정으로 파장을 나누어 측정한다. 두 방식은 같은 원소 분석 목적을 갖지만 신호를 분리하는 장치 구조가 다르다.
시료 형태에 따른 준비
고체뿐 아니라 분말과 액체도 적절한 시료 용기를 사용해 분석할 수 있다. 분말을 압축해 펠릿으로 만들거나 용기에 담는 방법, 액체를 전용 셀에 담는 방법 등이 있다. 어떤 형태든 단순히 장치에 올렸다는 이유만으로 동일한 조건의 정량 결과가 나오는 것은 아니다.
정량 모형의 가정
일부 정량 분석은 물리 모형으로 계산한 신호와 측정 신호를 비교한다. 이때 시료가 균일한지, 충분한 두께인지 등 모형의 조건이 중요하다. 예를 들어 표면의 얇은 층이 주된 관심인데 시료 전체가 균일하다고 가정하면 분석 질문과 계산 조건이 어긋날 수 있다.
관련 문서
특성 X선 / 에너지 분산형 X선 분광법 / 파장 분산형 X선 분광법 / 반도체 / 원소 / 분광학 / 광자 / X선 광전자 분광법